《压电微机电谐振器》978-7-111-63763-9.pdf-布格拉 (美) (Bhugra, Harmeet) 主-电子书下载-云上书馆

压电微机电谐振器电子版图书

《压电微机电谐振器》图书简介

压电微机电谐振器

本书主要介绍压电MEMS谐振器的各种制作材料、工艺、参数、特性、测试和评估方法等，并针对相关器件商业化难题进行了讨论，给出了两个成功案例。压电MEMS谐振器具有微型化、更经济、更高性能的品质，在商业化方面极具潜力。并列题名：Piezoelectric MEMs resonators eng

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