《硅MEMS工艺与设备基础》978-7-118-11740-0.pdf-阮勇编著-电子书下载-云上书馆

硅MEMS工艺与设备基础电子版图书

作者：阮勇编著

出版社：国防工业出版社

ISBN：978-7-118-11740-0

出版年：2018

《硅MEMS工艺与设备基础》图书简介

硅MEMS工艺与设备基础

本书介绍了硅MEMS器件所需的工艺与设备，能够让MEMS研究人员对硅MEMS工艺技术及其主要设备与环境有全面了解。分集：MEMS与微系统系列并列题名：Fundamentals of silicon-based MEMS processing techniques and equipments eng

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