本书介绍了超硬自润滑硼化物薄膜——AlB2-type WB2基超硬薄膜的制备及改性。系统地描述了工艺参数(基体偏压、沉积温度、工作压强、靶功率)及N、C掺杂对AlB2-type WB2基硬质薄膜结构和性能(力学、摩擦热稳定性等)的影响规律及作用机制,建立了工艺参数、薄膜结构演变与性能之间的关系,揭示三种薄膜的强化机理及退化机制,阐述了AlB2-type WB2基硬质薄膜的潜在应用价值,为其他过渡族金属硼化物涂层的制备及改性提供了理论基础。

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