本书由薄膜制备技术、薄膜检测技术和典型薄膜材料及其应用3部分构成，介绍了现代薄膜技术中涉及的真空的获得和测量方法、薄膜制备技术中重要的物理和化学方法、薄膜材料常用的结构分析和性能测试方法，全面阐述了典型薄膜材料的制备、结构、性能和应用。此外，还结合作者的研究工作，设置了磁控溅射镀膜技术和非晶碳膜的结构和性能表征方法两个专题内容。

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