本书是微米/纳米加工技术方面的一本优秀著作, 既有一定的理论深度, 又有足够的广度, 而且还有较高的可读性。它较为系统地梳理了微米加工(特别是非硅基加工)技术以及纳米加工手段, 结合微流体、微惯性器件、纳米传感器等方面的典型案例, 阐释了这些技术的原理和特点, 提出了特定问题的高效率解决方案, 给出了工艺设计方面的指南, 并对这些技术的发展走向做出了高屋建瓴的判断。

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