本书是一本介绍半导体集成电路和器件制造技术的专业书籍, 在半导体领域享有很高的声誉。本书的讨论范围包括半导体工艺的每个阶段: 从原材料的制备到封装、测试和成品运输, 以及传统的和现代的工艺。全书提供了详细的插图和实例, 每章包含回顾总结和习题, 并辅以丰富的术语表。第六版修订了微芯片制造领域的新进展, 讨论了用于图形化、掺杂和薄膜步骤的先进工艺和尖端技术, 使隐含在复杂的现代半导体制造材料与工艺中的物理、化学和电子的基础信息更易理解。

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