本书阐述了变压器内置式超声波局部放电（partial discharge, PD）的光纤非本征型法布里-珀罗干涉仪（extrinsicopticalfiberFabry- Perotinterferometer,EFPI)传感耦合技术和基于微机电系统(micro- electro-mechanical systems,MEMS)敏感结构膜片的优化设计、绝缘体上硅(silicon-On-insulator, SOI)片制造工艺、法珀腔组装与探头封装技术，以及基于油阀特高频传感器的一体化设计、试验及工程应用。