本书是在第一版的基础上修订而成，结合微机电系统领域的研究成果编著而成的。全书共分为六章，分别介绍了MEMS发展历程，MEMS理论基础，MEMS基本工艺技术，MEMS设计技术，典型微器件与微系统和微测试技术。在介绍微加工工艺方面，《普通高等教育“十一五”规划教材：微机电系统》结合大量工艺实例，易于学生理解，有助于提高其动手能力；对各种典型微机电器件的介绍，大部分来源于实验室的课题研究实例，内容充实新颖。　　本书可以作为本科生和研究生学习微机电系统的教材使用，还可以作为工程技术等专业人员的参考手册。

  推荐以下三种渠道：

  点击前往： 豆瓣读书
  点击前往： 京东读书
  点击前往： 当当图书
  ·点击进入下载地址