《薄膜技术与应用》为研究生高水平课程教材。全书主要内容包括真空技术基础、真空蒸发镀膜、分子束外延生长、溅射镀膜、激光脉冲沉积、离子镀和离子束沉积、化学气相沉积、原子层沉积（ALD）镀膜、溶液镀膜法和自组装膜等。
　　《薄膜技术与应用》既可作为研究生的相关课程教材，也可供其他人员学习参考。

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